Exposure apparatus and exposure method

WO2006134956 Art A1 21. Dezember 2006

Anmelder: OSAKA UNIVERSITY 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006134956
Aktenzeichen: EP06766671
Anmeldetag: 14. Juni 2006
Veröffentlichung: 21. Dezember 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01B11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: OSAKA UNIVERSITY
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Osaka University

Staatliche Universität in Osaka, Japan, eine der führenden Forschungsuniversitäten des Landes mit Schwerpunkten in Naturwissenschaften, Medizin und Ingenieurwesen.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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