Antireflective hardmask composition and methods for using same

WO2006135136 Art A1 21. Dezember 2006

Anmelder: CHEIL INDUSTRIES INC. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2006135136
Aktenzeichen
EP05820688
Anmeldetag
22. November 2005
Veröffentlichung
21. Dezember 2006
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/11
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CHEIL INDUSTRIES INC.
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Cheil Industries Inc.

Ehemaliges südkoreanisches Chemie- und Materialunternehmen der Samsung-Gruppe, 2015 in Samsung C&T Corporation aufgegangen und heute nicht mehr eigenständig tätig.

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