Optimized activation prevention assembly for a gas delivery system and methods therefor

WO2006135624 Art A2 21. Dezember 2006

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006135624
Aktenzeichen: EP06772391
Anmeldetag: 6. Juni 2006
Veröffentlichung: 21. Dezember 2006
Rechtsraum: WO
IPC: F16K35/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Lam Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik

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