Vorrichtung für die Sukzessive Beschichtung mehrerer Substrate

WO2006136187 Art A1 28. Dezember 2006

Anmelder: Applied Materials GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006136187
Aktenzeichen: EP05754313
Anmeldetag: 22. Juni 2005
Veröffentlichung: 28. Dezember 2006
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/56B65G49/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials GmbH & Co. KG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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