Objektiv mit mehreren in einem Gehäuse Angeordneten Optischen Elementen

WO2006136352 Art A2 28. Dezember 2006

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006136352
Aktenzeichen: EP06762080
Anmeldetag: 19. Juni 2006
Veröffentlichung: 28. Dezember 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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