Method and apparatus for removing organic film on substrate surface

WO2006137194 Art A1 28. Dezember 2006

Anmelder: TOAGOSEI CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006137194
Aktenzeichen: EP06728652
Anmeldetag: 6. März 2006
Veröffentlichung: 28. Dezember 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027B01D61/14G03F7/42H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOAGOSEI CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 TOAGOSEI CO., LTD.

Toagosei ist ein japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, bekannt für Klebstoffe wie Aron Alpha. Die Patente betreffen Polymere, Klebstoffe und Spezialchemikalien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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