Catadioptric projection optical system, and exposure apparatus having the same

WO2006137349 Art A1 28. Dezember 2006

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006137349
Aktenzeichen: EP06766869
Anmeldetag: 13. Juni 2006
Veröffentlichung: 28. Dezember 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G02B17/08G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CANON KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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