Exposing method and device

WO2006137396 Art A1 28. Dezember 2006

Anmelder: SANEI GIKEN CO., LTD., SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006137396
Aktenzeichen: EP06766980
Anmeldetag: 20. Juni 2006
Veröffentlichung: 28. Dezember 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G03F9/00H01L21/027H01L21/68G01B11/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: SANEI GIKEN CO., LTD.
SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shinko Electric Industries

Shinko Electric Industries ist ein japanischer Hersteller von Halbleiterpackaging und elektronischen Bauteilen. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Elektronik und Schaltungstechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

409 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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