Exposure method and apparatus

WO2006137582 Art A1 28. Dezember 2006

Anmelder: FUJI PHOTO FILM CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006137582
Aktenzeichen: EP06767554
Anmeldetag: 22. Juni 2006
Veröffentlichung: 28. Dezember 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJI PHOTO FILM CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, ursprünglich als Fuji Photo Film gegründet, heute aktiv in Fotografie, Bildgebung, medizinischer Diagnostik und Spezialchemie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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