Helicon plasma source with permanent magnets

WO2007002455 Art A2 4. Januar 2007

Anmelder: The Regents of the University of California 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007002455
Aktenzeichen: EP06785475
Anmeldetag: 23. Juni 2006
Veröffentlichung: 4. Januar 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H01J27/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Regents of the University of California
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of California

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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