Method and apparatus for evacuating an enclosure

WO2007003479 Art A1 11. Januar 2007

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007003479
Aktenzeichen: EP06763490
Anmeldetag: 2. Juni 2006
Veröffentlichung: 11. Januar 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Edwards Limited
Land: 🇬🇧 Großbritannien

🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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