Plasma treatment apparatus and plasma treatment method

WO2007004576 Art A1 11. Januar 2007

Anmelder: National University Corporation Nagoya University, Advanced LCD Technologies Development Center Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007004576
Aktenzeichen: EP06780690
Anmeldetag: 30. Juni 2006
Veröffentlichung: 11. Januar 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/46C23C16/511H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: National University Corporation Nagoya University
Advanced LCD Technologies Development Center Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National University Corporation Nagoya University

Japanische staatliche Universität mit umfangreicher Forschung in Naturwissenschaften, Technik und Medizin, unter anderem bekannt für Arbeiten zu LED-Technologie. Trägerin zahlreicher Patente aus Universitätsforschung in Japan.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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