Method of producing substrate under controlling organic matter concentration in stripping liquor

WO2007004612 Art A1 11. Januar 2007

Anmelder: TOAGOSEI CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007004612
Aktenzeichen: EP06780738
Anmeldetag: 3. Juli 2006
Veröffentlichung: 11. Januar 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304B08B3/08G03F7/42H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOAGOSEI CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 TOAGOSEI CO., LTD.

Toagosei ist ein japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, bekannt für Klebstoffe wie Aron Alpha. Die Patente betreffen Polymere, Klebstoffe und Spezialchemikalien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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