Clamp for use in processing semiconductor workpieces

WO2007005925 Art A1 11. Januar 2007

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007005925
Aktenzeichen: EP06786313
Anmeldetag: 30. Juni 2006
Veröffentlichung: 11. Januar 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H02N13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik

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