Optimizing use and performance of optical systems implemented with telecentric on-axis dark field illumination

WO2007008742 Art A1 18. Januar 2007

Anmelder: ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007008742
Aktenzeichen: EP06774586
Anmeldetag: 7. Juli 2006
Veröffentlichung: 18. Januar 2007
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/88

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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