Method for the monolithic integration of materials of high mechanical quality with integrated circuits for mems/nems applications

WO2007010072 Art A2 25. Januar 2007

Anmelder: UNIVERSITAT AUTONOMA DE BARCELONA, Consejo Superior De Investigaciones Científicas 🇪🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007010072
Aktenzeichen: EP06807876
Anmeldetag: 21. Juli 2006
Veröffentlichung: 25. Januar 2007
Rechtsraum: WO
IPC: B81B7/00H01L21/77

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Anmelder

Firmen: UNIVERSITAT AUTONOMA DE BARCELONA
Consejo Superior De Investigaciones Científicas
Land: 🇪🇸 Spanien

🇪🇸 Consejo Superior de Investigaciones Científicas

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Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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