Electron beam device

WO2007013398 Art A1 1. Februar 2007

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007013398
Aktenzeichen: EP06781483
Anmeldetag: 24. Juli 2006
Veröffentlichung: 1. Februar 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/147H01J37/153H01J37/29

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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