Determining film stress from substrate shape using finite element procedures

WO2007013884 Art A2 1. Februar 2007

Anmelder: WISCONSIN ALUMNI RESEARCH FOUNDATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007013884
Aktenzeichen: EP05858444
Anmeldetag: 11. Oktober 2005
Veröffentlichung: 1. Februar 2007
Rechtsraum: WO
IPC: G01L5/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: WISCONSIN ALUMNI RESEARCH FOUNDATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Wisconsin Alumni Research Foundation

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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