Method and apparatus for in-situ substrate surface arc detection

WO2007014160 Art A2 1. Februar 2007

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007014160
Aktenzeichen: EP06788316
Anmeldetag: 21. Juli 2006
Veröffentlichung: 1. Februar 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H02H9/00H02H3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik

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