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WO2007015361 Art A1 8. Februar 2007

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2007015361
Aktenzeichen
EP06768218
Anmeldetag
14. Juli 2006
Veröffentlichung
8. Februar 2007
Rechtsraum
WO
IPC
F16B33/06C23C14/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ULVAC, INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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