Unique passivation technique for a cvd blocker plate to prevent particle formation

WO2007016013 Art A2 8. Februar 2007

Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007016013
Aktenzeichen: EP06813227
Anmeldetag: 24. Juli 2006
Veröffentlichung: 8. Februar 2007
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/32C23F1/00C23C16/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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