Receiving container for pellicle
WO2007017963
Art A1
15. Februar 2007
Anmelder: SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2007017963
- Aktenzeichen
- EP06702143
- Anmeldetag
- 6. Januar 2006
- Veröffentlichung
- 15. Februar 2007
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F1/14H01L21/673
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Polymer
Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. ist ein japanischer Hersteller von Kunststoff- und Elektronikkomponenten mit Sitz in Tokio, Teil des Shin-Etsu-Chemical-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Verpackungstechnik, ergänzt um Kunststofftechnik und Fertigungstechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.
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