Apparatus and method for inspecting fine structure and inspection program

WO2007018186 Art A1 15. Februar 2007

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007018186
Aktenzeichen: EP06782452
Anmeldetag: 7. August 2006
Veröffentlichung: 15. Februar 2007
Rechtsraum: WO
IPC: G01P21/00B81C5/00G01N27/00G01P15/18G01R1/073H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von