Thermal flux laser annealing for ion implantation of semiconductor p-n junctions

WO2007018567 Art A1 15. Februar 2007

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2007018567
Aktenzeichen
EP05810342
Anmeldetag
12. Oktober 2005
Veröffentlichung
15. Februar 2007
Rechtsraum
WO
IPC
G02B27/09B23K26/073B23K26/06H01L21/00H01L21/04H01S5/40
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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