Thermal flux laser annealing for ion implantation of semiconductor p-n junctions
WO2007018567
Art A1
15. Februar 2007
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2007018567
- Aktenzeichen
- EP05810342
- Anmeldetag
- 12. Oktober 2005
- Veröffentlichung
- 15. Februar 2007
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G02B27/09B23K26/073B23K26/06H01L21/00H01L21/04H01S5/40
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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