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WO2007019105 Art A1 15. Februar 2007

Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2007019105
Aktenzeichen
EP06800529
Anmeldetag
31. Juli 2006
Veröffentlichung
15. Februar 2007
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/677
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ENTEGRIS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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