Photoresist polymer having nano smoothness and etching resistance and resist composition

WO2007020734 Art A1 22. Februar 2007

Anmelder: Lion Corporation, Hyogo Prefecture 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2007020734
Aktenzeichen
EP06745662
Anmeldetag
25. April 2006
Veröffentlichung
22. Februar 2007
Rechtsraum
WO
IPC
C08F291/00C08F297/00G03F7/039
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Lion Corporation
Hyogo Prefecture
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Lion Corporation

Japanischer Hersteller von Konsumgütern wie Waschmitteln, Kosmetik und Mundhygieneprodukten mit Sitz in Tokio.

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