Plotting device, exposure device, and plotting method

WO2007020890 Art A1 22. Februar 2007

Anmelder: Fujifilm Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007020890
Aktenzeichen: EP06796379
Anmeldetag: 11. August 2006
Veröffentlichung: 22. Februar 2007
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01L21/027H05K3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujifilm Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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