Method and apparatus for modulating electron beam

WO2007020921 Art A1 22. Februar 2007

Anmelder: Riken 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007020921
Aktenzeichen: EP06796424
Anmeldetag: 15. August 2006
Veröffentlichung: 22. Februar 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H01J25/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Riken
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 RIKEN

Japanische staatliche Forschungseinrichtung mit Sitz in Wako bei Tokio, aktiv in Physik, Chemie, Biologie und Ingenieurwissenschaften mit zahlreichen Forschungszentren.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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