Alignment device for vacuum deposition

WO2007023553 Art A1 1. März 2007

Anmelder: Hitachi Zosen Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007023553
Aktenzeichen: EP05774703
Anmeldetag: 25. August 2005
Veröffentlichung: 1. März 2007
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/04H05B33/10H01L51/50

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi Zosen Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi Zosen

Hitachi Zosen ist ein japanischer Schwermaschinenbaukonzern mit Wurzeln im Schiffbau, heute unter anderem in der Umwelt- und Energietechnik aktiv. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt um anorganische Chemie. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2024.

521 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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