Ceramic member, ceramic heater, substrate placing mechanism, substrate processing apparatus and method for manufacturing ceramic member

WO2007023831 Art A1 1. März 2007

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007023831
Aktenzeichen: EP06782905
Anmeldetag: 23. August 2006
Veröffentlichung: 1. März 2007
Rechtsraum: WO
IPC: C04B35/64H01L21/683H05B3/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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