Film-forming material and method of forming pattern

WO2007023908 Art A1 1. März 2007

Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD., Riken 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2007023908
Aktenzeichen
EP06796742
Anmeldetag
24. August 2006
Veröffentlichung
1. März 2007
Rechtsraum
WO
IPC
C09D183/00C09D185/00C09D1/00G03F7/40G03F7/004G03F7/11G03F7/075H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
Riken
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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🇯🇵 RIKEN

Japanische staatliche Forschungseinrichtung mit Sitz in Wako bei Tokio, aktiv in Physik, Chemie, Biologie und Ingenieurwissenschaften mit zahlreichen Forschungszentren.

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