Dielectric film having abox-type perovskite crystalline structure, capacitor using the dielectric film, and method and system for formation of dielectric film having abox-type perovskite crystalline structure

WO2007023909 Art A1 1. März 2007

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Octec Inc., Ibiden Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007023909
Aktenzeichen: EP06796744
Anmeldetag: 24. August 2006
Veröffentlichung: 1. März 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/822B32B9/00H01G4/12H01L21/314H01L21/8242H01L27/04H01L27/108

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOKYO ELECTRON LIMITED
Octec Inc.
Ibiden Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Ibiden

Ibiden ist ein japanischer Hersteller elektronischer Materialien mit Sitz in Ogaki, spezialisiert auf IC-Substrate für Halbleiter sowie Keramikprodukte für die Automobil- und Elektronikindustrie.

1.569 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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