Method of forming fine pattern

WO2007026605 Art A1 8. März 2007

Anmelder: Riken 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007026605
Aktenzeichen: EP06783028
Anmeldetag: 25. August 2006
Veröffentlichung: 8. März 2007
Rechtsraum: WO
IPC: B29C59/02B29C33/38B82B3/00H01L21/027B29K83/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Riken
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 RIKEN

Japanische staatliche Forschungseinrichtung mit Sitz in Wako bei Tokio, aktiv in Physik, Chemie, Biologie und Ingenieurwissenschaften mit zahlreichen Forschungszentren.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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