Corrosion resistant member, treatment apparatus and sample treatment method using the member, and method for manufacture of corrosion resistant member

WO2007026739 Art A1 8. März 2007

Anmelder: Kyocera Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007026739
Aktenzeichen: EP06797034
Anmeldetag: 30. August 2006
Veröffentlichung: 8. März 2007
Rechtsraum: WO
IPC: C04B35/10C04B35/44H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kyocera Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kyocera

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Kyoto. Kyocera fertigt Keramikbauteile, Halbleiterkomponenten, Solarmodule, Druck- und Kopiersysteme sowie Elektronikprodukte für Industrie und Endverbraucher.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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