Planar resonant element for measuring electron density of plasma, and method and device for measuring electron density of plasma

WO2007026859 Art A1 8. März 2007

Anmelder: National University Corporation Nagoya University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007026859
Aktenzeichen: EP06783158
Anmeldetag: 25. August 2006
Veröffentlichung: 8. März 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/00C23C16/509C23C16/511

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: National University Corporation Nagoya University
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National University Corporation Nagoya University

Japanische staatliche Universität mit umfangreicher Forschung in Naturwissenschaften, Technik und Medizin, unter anderem bekannt für Arbeiten zu LED-Technologie. Trägerin zahlreicher Patente aus Universitätsforschung in Japan.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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