Endpoint detection method, endpoint detection apparatus, and vapor-phase reactor comprising endpoint detection apparatus

WO2007029488 Art A1 15. März 2007

Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD., Japan Advanced Institute of Science and Technology 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007029488
Aktenzeichen: EP06796623
Anmeldetag: 22. August 2006
Veröffentlichung: 15. März 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
Japan Advanced Institute of Science and Technology
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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