Magnetron control method, magnetron service life judgment method, microwave generation device, magnetron service life judgment device, processing device, computer program, and storage medium

WO2007029580 Art A1 15. März 2007

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007029580
Aktenzeichen: EP06797078
Anmeldetag: 30. August 2006
Veröffentlichung: 15. März 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H01J23/34C23C16/511H01J23/04H01L21/3065H05B6/68H05H1/00H05H1/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von