Probe card for wafer test, wafer-testing device, and wafer-testing method

WO2007029766 Art A1 15. März 2007

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007029766
Aktenzeichen: EP06797613
Anmeldetag: 7. September 2006
Veröffentlichung: 15. März 2007
Rechtsraum: WO
IPC: G01R1/073H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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