Method and device for manufacturing structure having pattern, and method for manufacturing mold

WO2007029845 Art A2 15. März 2007

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2007029845
Aktenzeichen
EP06797764
Anmeldetag
5. September 2006
Veröffentlichung
15. März 2007
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Canon Kabushiki Kaisha
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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