Pattern forming material, pattern forming apparatus and pattern forming process

WO2007032195 Art A1 22. März 2007

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007032195
Aktenzeichen: EP06783034
Anmeldetag: 25. August 2006
Veröffentlichung: 22. März 2007
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/004C08F299/00G03F7/027G03F7/033G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIFILM Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

12.204 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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