Polishing method and polishing apparatus, and program for controlling polishing apparatus

WO2007032519 Art A1 22. März 2007

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007032519
Aktenzeichen: EP06798072
Anmeldetag: 12. September 2006
Veröffentlichung: 22. März 2007
Rechtsraum: WO
IPC: B24B37/00B24B53/00H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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