Atomic layer deposition with nitridation and oxidation

WO2007033003 Art A1 22. März 2007

Anmelder: SanDisk Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007033003
Aktenzeichen: EP06803183
Anmeldetag: 8. September 2006
Veröffentlichung: 22. März 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/314H01L21/316H01L21/318C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SanDisk Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 SanDisk

US-amerikanischer Hersteller von Flash-Speicherprodukten wie SSDs, Speicherkarten und USB-Sticks. Das Unternehmen war zeitweise Teil von Western Digital und agiert seit 2025 wieder eigenständig.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von