Sensor and device using same
WO2007037386
Art A1
5. April 2007
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2007037386
- Aktenzeichen
- EP06798463
- Anmeldetag
- 29. September 2006
- Veröffentlichung
- 5. April 2007
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N5/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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