Method for producing semiconductor wafer and system for determining cutting position of semiconductor ingot

WO2007040002 Art A1 12. April 2007

Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2007040002
Aktenzeichen
EP06797150
Anmeldetag
31. August 2006
Veröffentlichung
12. April 2007
Rechtsraum
WO
IPC
C30B15/22B28D5/02B28D5/04C30B29/06H01L21/304H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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