6k pulse repetition rate and above gas discharge laser system solid state pulse power system improvements

WO2007041232 Art A2 12. April 2007

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007041232
Aktenzeichen: EP06815695
Anmeldetag: 27. September 2006
Veröffentlichung: 12. April 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/22H01S3/03H01S3/097H01S3/223

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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