Electrostatic Chuck Having Radial Temperature Control Capability

WO2007041668 Art A1 12. April 2007

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007041668
Aktenzeichen: EP06825488
Anmeldetag: 3. Oktober 2006
Veröffentlichung: 12. April 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H05B1/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Lam Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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