Sample target for use in mass analysis method, process for producing the same, and mass analysis apparatus using the sample target

WO2007046162 Art A1 26. April 2007

Anmelder: Japan Science and Technology Agency 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007046162
Aktenzeichen: EP06745891
Anmeldetag: 28. April 2006
Veröffentlichung: 26. April 2007
Rechtsraum: WO
IPC: G01N27/64G01N27/62H01J49/04H01J49/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Japan Science and Technology Agency
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Japan Science and Technology Agency

Japanische staatliche Förderorganisation für Wissenschaft und Technologie, die Forschungsprojekte finanziert und den Technologietransfer zwischen Universitäten und Industrie unterstützt. Die Behörde untersteht dem japanischen Bildungsministerium.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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