Film forming material supplying apparatus

WO2007046281 Art A1 26. April 2007

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007046281
Aktenzeichen: EP06811610
Anmeldetag: 11. Oktober 2006
Veröffentlichung: 26. April 2007
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/24H01J9/02H01J11/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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