Integrated chamber cleaning system

WO2007047095 Art A2 26. April 2007

Anmelder: THE BOC GROUP, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007047095
Aktenzeichen: EP06816138
Anmeldetag: 4. Oktober 2006
Veröffentlichung: 26. April 2007
Rechtsraum: WO
IPC: B08B7/04B08B9/00H01L21/306C23C16/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: THE BOC GROUP, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇬🇧 The BOC Group

The BOC Group war ein britischer Industriegasehersteller und ist heute Teil des Linde-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Energie- und Wärmetechnik, ergänzt durch anorganische Chemie und Metallurgie. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2012.

468 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von