Real Time Target Topography Tracking During Laser Processing

WO2007047777 Art A1 26. April 2007

Anmelder: ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2007047777
Aktenzeichen
EP06826204
Anmeldetag
17. Oktober 2006
Veröffentlichung
26. April 2007
Rechtsraum
WO
IPC
B23K26/04B23K26/00B23K26/02B23K26/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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